FPT-6 平板显示测试平台
(Flat Panel Tester)

产品描述

Semilab针对平板显示行业推出的FPT-6多功能测试平台,可根据Array段实际测试需求配置椭偏或反射干涉膜厚测试模组,并可选配四探针、透射率、应力以及接触角测试模组,满足二代线至十代线的在线监控综合测试需求。 针对IGZO和LTPS,Semilab推出基于FPT-6平台的u-PCR和Ramna测试模组,表征材料电子迁移率、结晶率、晶格缺陷、界面质量和金属沾污等电学特性,实现快速、非接触材料电学特性的在线监控。
FPT-6配置的所有测试模组均为Semilab自主产品,椭偏膜厚测试模组和u-PCR电学表征模组的结合使Semilab成为全球唯一能够针对LTPS和IGZO提供综合测试方案的供应商。


产品特点

覆盖十代线内所有面板尺寸的在线监控
全球唯一供应商能够针对IGZO和LTPS提供厚度和电学特性综合测试方案
椭偏测试模组实现精确测试多层叠层结构的厚度和折射率
u-PCR扫描数据实现快速监控材料电子迁移率和结晶率均匀性,诊断准分子激光工艺特性

主要应用

单层或多层薄膜结构厚度和折射率测试
四探针电阻率测试
LTPS和IGZO的u-PCR电学特性测试
LTPS薄膜拉曼结晶率测试
多点或扫描式透射率测试
薄膜应力测试
接触角测试

主要技术指标

椭偏测试光谱:250-1700nm
薄膜厚度测量范围:0.5nm-15um
厚度测试精度:0.02nm @120nm SiO2 on Si
折射率测试精度:0.002 @120nm SiO2 on Si
方块电阻测试精度:< 1%
拉曼测试精度:< 3%
u-PCR测试精度:< 1%
应力测试精度:10MPa-15MPa
透射率测试精度:< 3%

技术关键词

应用关键词



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